የኤሌክትሮላይቲክ ፖሊሽ ወለል ህክምና ቴክኖሎጂ ሪፖርት —— ለአይዝጌ ብረት እጅግ በጣም ንጹህ ወለል የመጨረሻው መፍትሄ
I. ተግባራት እና ዋና እሴቶች
ዋና ተግባራት
- ከፍተኛ ንፅህና; የወለል ሻካራነት Ra ≤ 0.1μm (የመስታወት ደረጃ)፣ የማይክሮባላዊ ማጣበቂያን በመቀነስ 90%+
- የዝገት መቋቋምን ማሻሻል፡ የፓሲቭሽን ፊልሙ ወፍራም የሆነው በ 3 ጊዜእና የጨው ስፕሬይ ሙከራው ከዚህ በላይ ነው 1000 ሰዓታት (ከመጀመሪያው ንጣፍ 5-8 እጥፍ ከፍ ያለ)
- ወጥነት እና ብልሹነት; ውስብስብ የሆኑ ክፍተቶችን ሙሉ በሙሉ ለማለስለስ በአጉሊ መነጽር የተበታተኑ ፕሮቱሩሶችን መርጦ መፍታት
- የሕክምና ደረጃ ደህንነት፡ በላዩ ላይ የተካተቱትን የብረት ቅንጣቶችን ማስወገድ እና የብረት ion ዝናብ ብክለትን መከላከል
ቁልፍ የችግር መፍታት
| የኢንዱስትሪ ህመም ነጥቦች | የኤሌክትሮላይቲክ ፖሊሽ መፍትሄዎች |
| በመድኃኒት ቧንቧ ውስጥ የባክቴሪያ እድገት | Ra0.08μm እጅግ በጣም የሚያዳልጥ ወለል ባዮፊልምን ይከላከላል |
| በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ የብረት ብክለት | የ5-20μm ጉድለት ንብርብርን ወለል ያስወግዱ |
| የሜካኒካል ፖሊሽ ሸካራነት ያልተስተካከለ ነው | መላው ገጽ በኤሌክትሮኬሚካል ደረጃ የተስተካከለ ነው |
II. የሥራ መርህ
የአኖዲክ መፍረስ እና የፓሲቭሽን ፊልም መልሶ ግንባታ ድርብ ዘዴ
የማይክሮስኮፒክ ደረጃ ሂደት:
① የተዘረጉት አየኖች በምርጫ ይሟሟሉ → ② የኤሌክትሮላይቱ ዝልግልግ ንብርብር ይፈጠራል → ③ ጭነቱ በፓስሲቭሽን ፊልም የተጠበቀ ነው → ④ ውፍረቱ የአቶሚክ ደረጃ ጠፍጣፋ ይሆናል።
ምስል፡ በአጉሊ መነጽር የሚለሰልስ የፒምብ መምረጫ እና የፓሲቭሽን ፊልም ምስረታ ዘዴ (የSEM ምልከታ)
III. የሂደት አሠራር ሂደት
የትክክለኛነት መቆጣጠሪያ ደረጃዎች
- ቅድመ-ህክምና
- የአልካላይን ቅባት መቀነሻ (60℃× 10 ደቂቃ) → የአልትራሳውንድ ጽዳት → ንፁህ ውሃ ማጠብ
- ኤሌክትሮላይቲክ ፖሊሽንግ
- ኤሌክትሮላይት፡ 65% ፎስፈረስ አሲድ + 15% ሰልፈሪክ አሲድ + 20% ግሊሰሮል (60-80℃)
- መለኪያዎች፡ ቮልቴጅ 12-18 ቮልት፣ የአሁኑ ጥግግት 20-50A/dm², ጊዜ 5-15 ደቂቃ
- የመሳሪያ መሳሪያ፡ የቲታኒየም ቅርጫት ካቶድ ከስራ ቦታው 100-150 ሚሜ ርቀት ላይ ነው
- ድህረ-ህክምና
- የሶስትዮሽ የኋላ ፍሰት ማጠብ → ንፁህ ውሃ አልትራሳውንድ → ናይትሮጂን ማድረቅ
- የጥራት ቁጥጥር መስፈርቶች
- ሸካራነት፡ ራ ≤ 0.1μm በነጭ ብርሃን ኢንተርፌሮሜትር ተገኝቷል
- የዝገት መቋቋም፡ የመዳብ ጨው የተጣደፈ የአሲቲክ አሲድ የጨው መርጫ ሙከራ (CASS) ≥48 ሰዓት ያለ ቀለም ለውጥ
IV. ከሌሎች ሂደቶች ጋር ያወዳድሩ
| ባህሪ | ኤሌክትሮላይቲክ ፖሊሽንግ | ሜካኒካል ፖሊሽንግ | የኬሚካል ፖሊሽንግ |
| የወለል ሸካራነት | ራ 0.02-0.1μm (የመስታወት አጨራረስ) | ራ 0.1-0.4μm (ሸካራነት) | ራ 0.2-0.5μm (ብርቱካናማ ቅርፊት) |
| የተሻሻለ የዝገት መቋቋም | ★★★★★ (የፓሲቭዥን ፊልም ውፍረት) | ★★☆☆☆(የሰርጎ ገብ ብክለት) | ★★★☆☆(ወጥ የሆነ ዝገት) |
| ውስብስብ መዋቅር ማቀነባበር | የውስጥ ክፍተት/ማይክሮ ሆሎች ሙሉ ሽፋን | መድረስ የሚቻለው በውጭው ገጽ ላይ ብቻ ነው | የጉድጓዱ ጥልቀት ያልተረጋጋ ነው |
| የቁሳቁስ መፍሰስ | 5-20μm ትክክለኛ ማስወገጃ | ከ10-100μm የአሻሚ ልብስ | አኒሶትሮፒክ ሟሟት 20-50μm |
| የአካባቢ ጥበቃ | የቆሻሻ አሲድ መልሶ ማግኛ መጠን ከ85% በላይ ነው | የአቧራ ብክለት | የናይትሮጂን ኦክሳይድ ልቀት |
| ዋና ወጪ | ¥150-300/㎡ | ¥80-150/㎡ | ¥50-100/㎡ |
የሕክምና ኢንዱስትሪ ተጨባጭ ማስረጃዎች፡
የቀዶ ጥገና መሳሪያዎችን ኤሌክትሮላይቲክ ማጥራት;
- የባክቴሪያ ቅሪት፡ (ሜካኒካል ፖሊሽንግ > 200 CFU/cm²)
- የጽዳት እና የተባይ ማጥፊያ ጊዜ አጭር የሚሆነው በ 40%
ቪ. የማመልከቻ ሁኔታ መመሪያ
• የማይተኩ ቦታዎች፡
- ✅ የባዮፋርማሲዩቲካል መሳሪያዎች (የማፍላት ታንክ/የማቀዝቀዣ ማድረቂያ ቧንቧ መስመር)
- ✅ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፁህ ፈሳሽ ስርዓት (የሴሚኮንዳክተር ሂደት ክፍተት/የጋዝ ቧንቧ መስመር)
- ✅ ሊተከሉ የሚችሉ የሕክምና መሳሪያዎች (የኦርቶፔዲክ ዊንጮች/የልብና የደም ሥር ስቴንቶች)
• ኢኮኖሚያዊ አማራጮች፡
- ❌ የተለመዱ የጌጣጌጥ ክፍሎች (የሚመከር ሜካኒካል ፖሊሽ)
- ❌ ትላልቅ የመዋቅር ክፍሎች (ከፍተኛ ወጪ)
መደምደሚያ፡ ኤሌክትሮላይቲክ ፖሊሽ በአቶሚክ ደረጃ ወለል ደረጃ አሰጣጥ እና በፓሲቭዥን ፊልም መልሶ ግንባታ አማካኝነት ለአይዝጌ ብረት ተግባራዊነት እና ደህንነት ሁለት እመርታዎችን አስመዝግቧል። ክፍል 1000 የጽዳት ክፍል ዲያሜትሮች ያላቸው ጥቃቅን ቀዳዳ ያላቸውን ክፍሎች ማስኬድ ይችላል Φ3ሚሜየገጽታ ኦክስጅንን ይዘት ማሳካት (XPS ትንተና) የASME BPE እና FDA cGMP መስፈርቶችን የሚያሟላ፣ ለከፍተኛ ደረጃ ኢንዱስትሪዎች እጅግ በጣም ንጹህ የገጽታ መፍትሄዎችን የሚሰጥ።
አባሪ፡ የኤሌክትሮላይቲክ የማጥራት ውጤት ንጽጽር
ምስል፡ በሜካኒካል ፖሊሽ (ግራ) እና በኤሌክትሮላይቲክ ፖሊሽ (ቀኝ) መካከል የማይክሮ ወለል እና የዝገት መቋቋም ንጽጽር
• ቴክኒካዊ አባሪ
- የሜምብራ ቅንብር ትንተና (XPS ማወቂያ):
- የCr₂O₃ ይዘት፡ 75-85% (ሜካኒካል ፖሊሽንግ ከ40-60% ብቻ)
- የፌ/ክሬን ጥምርታ፡ ≤0.1 (የህክምና ደረጃ መስፈርት ≤0.3)
- የገደብ መለኪያዎች፡
- ከፍተኛ የማቀነባበሪያ ትክክለኛነት፡ ራ 0.008μm (ሞኖክሪስታሊን ሲሊከን ደረጃ)
- ዝቅተኛው የመክፈቻ ሂደት፡ Φ 0.5ሚሜ ጥልቅ ጉድጓድ (ርዝመት-እስከ-ዲያሜትር ጥምርታ 10:1)
- ፈጠራ ያለው ሂደት፡
- የልብ ምት ኤሌክትሮላይቲክ ፖሊሽንግ፦ የቁሳቁስ ብክነትን ይቀንሱ በ 30%
- ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ያለው የፕላዝማ እገዛ; የኃይል ፍጆታ ቀንሷል በ 40%